Verfahren zur Entfernung von Kohlenstoff aus einem Organosilikatmaterial

EP2657365 Art B1 18. Januar 2017

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2657365
Aktenzeichen: EP13177963
Anmeldetag: 8. Dezember 2009
Veröffentlichung: 18. Januar 2017
Erteilung: 18. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/56H01L21/316C23C16/40C23C16/30H01L21/02H01L21/3105B32B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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