Verfahren für Epitaxiales Wachstum von Einkristallinem Siliciumcarbid

EP2657377 Art B1 21. November 2018

Anmelder: Toyo Tanso Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2657377
Aktenzeichen
EP11851354
Anmeldetag
29. Juni 2011
Veröffentlichung
21. November 2018
Erteilung
21. November 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/36C30B19/04C30B19/00C30B28/12C30B19/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Toyo Tanso Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
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