Flüssigkeitsimmersionselement, Immersionsbelichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren, Geräteherstellungsverfahren, Programm und Speichermedium

EP2659308 Art A1 6. November 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2659308
Aktenzeichen: EP11815875
Anmeldetag: 27. Dezember 2011
Veröffentlichung: 6. November 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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