Aromatisches Kohlenwasserstoffharz, Zusammensetzung zur Bildung eines Lithographischen Unterschichtfilms und Verfahren zur Bildung einer Mehrschichtigen Schutzschichtstruktur

EP2660257 Art B1 19. September 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2660257
Aktenzeichen: EP11854337
Anmeldetag: 14. Dezember 2011
Veröffentlichung: 19. September 2018
Erteilung: 19. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C08G14/04G03F7/11H01L21/027C08G8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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