Vorrichtung und Verfahren zur PVD-Beschichtung mit radiofrequenzabgestimmter Vorspannung am Substrat

EP2660351 Art B1 28. Januar 2015

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2660351
Aktenzeichen: EP13164665
Anmeldetag: 22. April 2013
Veröffentlichung: 28. Januar 2015
Erteilung: 28. Januar 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/08C23C14/34C23C14/35H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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