Ladungsträgerstrahlvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Probe

EP2660846 Art A1 6. November 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2660846
Aktenzeichen: EP11853766
Anmeldetag: 8. Dezember 2011
Veröffentlichung: 6. November 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/22H01J37/244H01J37/28H01J37/304H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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