Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP2660853 Art B1 5. Juli 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2660853
Aktenzeichen: EP13174486
Anmeldetag: 8. Mai 2006
Veröffentlichung: 5. Juli 2017
Erteilung: 5. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027G02B13/24G02B17/08G02B21/33G02B1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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