Polymer, Herstellungsverfahren, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren

EP2664633 Art B1 7. November 2018

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2664633
Aktenzeichen: EP13156383
Anmeldetag: 22. Februar 2013
Veröffentlichung: 7. November 2018
Erteilung: 7. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C08F220/18C08F220/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik

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