Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilmaktuators

EP2664792 Art A1 20. November 2013

Anmelder: National Institute for Materials Science 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2664792
Aktenzeichen
EP12734697
Anmeldetag
12. Januar 2012
Veröffentlichung
20. November 2013
Rechtsraum
EP
IPC
F03G7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National Institute for Materials Science
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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