Halbton-Phasenverschiebungsmaskenrohling und Verfahren zur Herstellung der Halbton-Phasenverschiebungsmaske
EP2664959
Art B1
28. Januar 2015
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2664959
- Aktenzeichen
- EP13167563
- Anmeldetag
- 13. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2015
- Erteilung
- 28. Januar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/29G03F1/32G03F1/54G03F1/80
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Vertreten von
Smaggasgale, Gillian Helen
London, Großbritannien
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