Ultraschallreinigungsverfahren und Ultraschallreinigungsvorrichtung

EP2666553 Art B1 30. Dezember 2015

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2666553
Aktenzeichen
EP13167906
Anmeldetag
15. Mai 2013
Veröffentlichung
30. Dezember 2015
Erteilung
30. Dezember 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B08B3/12H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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