Herstellung von Metalloxid-Dünnschichten und Nanostoffderivierten Metallverbund-Dünnschichten bei Niedriger Temperatur

EP2668310 Art B1 2. August 2017

Anmelder: Northwestern University, Flexterra, Inc., Polyera Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2668310
Aktenzeichen
EP12710809
Anmeldetag
27. Januar 2012
Veröffentlichung
2. August 2017
Erteilung
2. August 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C18/12H01L21/02H01L21/285H01L21/441H01L21/443H01L21/477H01L29/45H01L29/51H01L29/66H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Northwestern University
Flexterra, Inc.
Polyera Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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