Magnetfelderzeugungsvorrichtung zur Magnetron-Zerstäubung

EP2669403 Art B1 6. April 2016

Anmelder: Hitachi Metals, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2669403
Aktenzeichen: EP12738968
Anmeldetag: 12. Januar 2012
Veröffentlichung: 6. April 2016
Erteilung: 6. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35H05H1/46H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Metals, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Proterial

Japanisches Unternehmen (frühere Firmierung Hitachi Metals), das Spezialstähle, Magnetwerkstoffe und Metallkomponenten für Industrie und Automobilbau herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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