Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Strukturen
EP2669738
Art A1
4. Dezember 2013
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2669738
- Aktenzeichen
- EP13159508
- Anmeldetag
- 15. März 2013
- Veröffentlichung
- 4. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/12B41F15/40B41F15/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
3.840 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Calderbank, Thomas Roger
London, Großbritannien
1.660
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Fachgebiete
19
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Schwerpunkte