Verfahren und Systeme zum Abtasten einer Oberfläche eines Objekts unter Verwendung eines Teilchenstrahls

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2669928

Aktenzeichen

EP13002790

Anmeldetag

29. Mai 2013

Veröffentlichung

21. Februar 2024

Erteilung

21. Februar 2024

Rechtsraum

EP

IPC

H01J37/28H01J37/302H01J37/305

Abstract

A method of scanning a surface of an object using a particle beam comprises: determining a surface portion of the surface of the object, wherein the surface portion is to be scanned; determining initial positions of a set of raster points within the surface portion; changing the positions of at least some raster points of the set of raster points; and then scanning the surface portion by directing the particle beam to the positions of the raster points.

Anmelder

Firma

Carl Zeiss Microscopy GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete