Antriebssystem und Antriebsverfahren, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren sowie Verfahren zum Entwurf des Antriebssystems

EP2669931 Art B1 15. April 2020

Anmelder: The University of Tokyo, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2669931
Aktenzeichen: EP12739189
Anmeldetag: 27. Januar 2012
Veröffentlichung: 15. April 2020
Erteilung: 15. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The University of Tokyo
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

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🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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