Herstellungsverfahren eines integrierten Schaltkreises mit Grabenisolationen mit unterschiedlichen Tiefen
EP2669939
Art A1
4. Dezember 2013
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, STMicroelectronics (Crolles 2) SAS 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2669939
- Aktenzeichen
- EP13169638
- Anmeldetag
- 29. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 4. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/84H01L27/12H01L21/762
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
STMicroelectronics (Crolles 2) SAS - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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