Vorrichtung und Verfahren zur Atomschichtablagerung

EP2670881 Art B1 9. Dezember 2015

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2670881
Aktenzeichen
EP12704561
Anmeldetag
30. Januar 2012
Veröffentlichung
9. Dezember 2015
Erteilung
9. Dezember 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C16/458C23C16/54C23C16/455B08B5/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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