Vorrichtung und Verfahren zur Atomschichtablagerung

EP2670882 Art B1 18. Mai 2016

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2670882
Aktenzeichen
EP12704560
Anmeldetag
30. Januar 2012
Veröffentlichung
18. Mai 2016
Erteilung
18. Mai 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/458C23C16/54C23C16/455F16C32/06B65G51/03
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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