Mikromechanische einstellbare Fabry-Perot-Interferometeranordnung und Herstellungsverfahren dafür
EP2672243
Art B1
7. August 2019
Anmelder: Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2672243
- Aktenzeichen
- EP13170194
- Anmeldetag
- 3. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 7. August 2019
- Erteilung
- 7. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J3/26G01J3/02G02B26/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Teknologian Tutkimuskeskus VTT
- Land
- 🇫🇮 Finnland
🇫🇮
VTT Technical Research Centre of Finland
VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
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Vertreten von
Kupiainen, Juhani Kalervo
Helsinki, Finnland
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Heinonen & Co
Heinonen & Co · Helsinki