Verfahren zur Herstellung eines Soi-Wafers

EP2672508 Art B1 5. Juni 2019

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2672508
Aktenzeichen
EP12742138
Anmeldetag
24. Januar 2012
Veröffentlichung
5. Juni 2019
Erteilung
5. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L27/12H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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