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EP2673797 Art A2 18. Dezember 2013

Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Tokyo Electron Limited 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2673797
Aktenzeichen
EP12744611
Anmeldetag
9. Februar 2012
Veröffentlichung
18. Dezember 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
KLA-Tencor Corporation
Tokyo Electron Limited
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

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