Epitaxie einer Hochzugfesten Siliziumlegierung für Zugspannungsanwendungen

EP2673799 Art B1 31. August 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2673799
Aktenzeichen: EP11858162
Anmeldetag: 28. Juli 2011
Veröffentlichung: 31. August 2022
Erteilung: 31. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/205H01L21/336H01L29/78H01L29/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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