Mikroelektromechanische Vorrichtung mit Piezoelektrischer Betätigungsstruktur

EP2673816 Art B1 10. Dezember 2014

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2673816
Aktenzeichen
EP12705444
Anmeldetag
8. Februar 2012
Veröffentlichung
10. Dezember 2014
Erteilung
10. Dezember 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/20H01L41/047H01L41/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Centre National de la Recherche Scientifique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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