Laservorrichtung, System zur Erzeugung von Extremem Ultraviolettlicht, Verfahren zur Steuerung der Laservorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extremem Ultraviolettlicht
EP2673856
Art A2
18. Dezember 2013
Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2673856
- Aktenzeichen
- EP12714359
- Anmeldetag
- 25. Januar 2012
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S5/062H01S3/23H05G2/00H01S3/13H01S3/223H01S5/06H01S5/14H01S5/34H01S5/40H01S5/065G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- GIGAPHOTON INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
539 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei · München