Spiegelvorrichtung
EP2676162
Art A1
25. Dezember 2013
Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2676162
- Aktenzeichen
- EP11822899
- Anmeldetag
- 29. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 25. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/18G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Gigaphoton Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
539 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei · München