Fokussierung eines Abbildungssystems mit Geladenen Teilchen

EP2676285 Art B1 20. Mai 2015

Anmelder: Applied Materials Israel Ltd., Carl Zeiss SMT GmbH 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2676285
Aktenzeichen: EP12707198
Anmeldetag: 17. Februar 2012
Veröffentlichung: 20. Mai 2015
Erteilung: 20. Mai 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/09H01J37/21H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel Ltd.
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇮🇱 Israel

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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