Verfahren und Vorrichtung für Verbesserte Lasergravur von Optoelektrischen Vorrichtungen
EP2676289
Art A2
25. Dezember 2013
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2676289
- Aktenzeichen
- EP12747705
- Anmeldetag
- 7. Februar 2012
- Veröffentlichung
- 25. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/301H01L33/00H01S5/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Vertreten von
McCrann, Sarah Ann
London, Großbritannien
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