Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung.

EP2678462 Art B1 26. Juli 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2678462
Aktenzeichen: EP12706232
Anmeldetag: 21. Februar 2012
Veröffentlichung: 26. Juli 2017
Erteilung: 26. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: B05D7/00B05C13/00H01L21/67H01L21/677C23C14/56C03C17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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