Verfahren zur Herstellung von Metalllinien auf einer nichtflachen MEMS-Topographie

EP2679537 Art A1 1. Januar 2014

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2679537
Aktenzeichen
EP12173761
Anmeldetag
27. Juni 2012
Veröffentlichung
1. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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