Magnetronelektrode zur Plasmabearbeitung

EP2679703 Art A1 1. Januar 2014

Anmelder: Toray Industries, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2679703
Aktenzeichen: EP12749883
Anmeldetag: 14. Februar 2012
Veröffentlichung: 1. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toray Industries, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Industries

Japanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Tokio. Toray entwickelt Kohlefasern, synthetische Fasern, Kunststoffe, Chemikalien sowie Materialien für Textil-, Automobil-, Elektronik- und Luftfahrtindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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