Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung der Beendigung einer Ätzung

EP2680298 Art A1 1. Januar 2014

Anmelder: Fuji Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2680298
Aktenzeichen: EP12850303
Anmeldetag: 12. November 2012
Veröffentlichung: 1. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fuji Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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