Genaues und Schnelles Training eines Neuronalen Netzwerks für Bibliotheksbasierte Metrologie mit Kritischer Dimension

EP2681684 Art A2 8. Januar 2014

Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Tokyo Electron Limited 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2681684
Aktenzeichen
EP12779511
Anmeldetag
28. Februar 2012
Veröffentlichung
8. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G06F19/00G06N3/02G01N21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
KLA-Tencor Corporation
Tokyo Electron Limited
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

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