Verfahren zur Herstellung einer MEMS-Vorrichtung mit Dampffreisetzungsschritt
EP2682363
Art A1
8. Januar 2014
Anmelder: IMEC, NXP B.V. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2682363
- Aktenzeichen
- EP12175390
- Anmeldetag
- 6. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
NXP B.V. - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇳🇱
NXP Semiconductors
Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.
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Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
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2
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