Piezoresistive dotierte DLC-Sensorschichten
EP2682731
Art A3
26. November 2014
Anmelder: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2682731
- Aktenzeichen
- EP13174025
- Anmeldetag
- 27. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 26. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01M13/02G01M13/04G01L1/22G01L5/00F16C41/00
Abstract
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Sensorschicht mit dotiertem Diamant-ähnlichem Kohlenstoff (DLC), sowie einen Kraftsensor, der eine entsprechende Sensorschicht umfasst. Eine erfindungsgemäße Schicht zeigt auch bei Temperaturen von über 125 °C ein stabiles Sensorverhalten.
Anmelder
- Firma
- Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt
Deutsches Forschungszentrum für Luftfahrt, Raumfahrt, Energie und Verkehr mit Hauptsitz in Köln. Das DLR ist zugleich die deutsche Raumfahrtagentur und betreibt zahlreiche Institute im gesamten Bundesgebiet.
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