Vorrichtung und Verfahren für Rasterkraftmikroskopie in kontrollierter Atmosphäre
EP2682760
Art A1
8. Januar 2014
Anmelder: IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2682760
- Aktenzeichen
- EP12176325
- Anmeldetag
- 13. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01Q30/12G01Q30/16B82Y35/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
89
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2
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