Dampfabscheidungsvorrichtung

EP2684979 Art B1 12. August 2015

Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2684979
Aktenzeichen
EP12755703
Anmeldetag
30. Januar 2012
Veröffentlichung
12. August 2015
Erteilung
12. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44H01L21/31H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Taiyo Nippon Sanso Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

325 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Schaeberle, Steffen München, Deutschland
770
Patente gesamt
32
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Nachrichtentechnik & Telekommunikation Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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