Pumpenmodul, sowie Verdrängerpumpe

EP2685104 Art B1 27. Juni 2018

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2685104
Aktenzeichen
EP13002743
Anmeldetag
28. Mai 2013
Veröffentlichung
27. Juni 2018
Erteilung
27. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
F04B43/04F04B43/12F04B43/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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