Antriebslaser-Ausgabesysteme für Euv-Lichtquellen

EP2686649 Art A2 22. Januar 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2686649
Aktenzeichen: EP12757203
Anmeldetag: 28. Februar 2012
Veröffentlichung: 22. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: A61N5/06G03F7/20H01S3/23H01S3/10H01S3/223H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik

Vertreten von