Oxidentfernung von Halbleiteroberflächen

EP2686874 Art A2 22. Januar 2014

Anmelder: The University Of Leeds 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2686874
Aktenzeichen
EP12715715
Anmeldetag
14. März 2012
Veröffentlichung
22. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The University Of Leeds
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 University of Leeds

Die University of Leeds ist eine britische Universität mit breitem Forschungsprofil in Medizin und Naturwissenschaften. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Messtechnik und Pharma/Biotechnologie, ergänzt durch organische Chemie. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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