Substratverarbeitungssystem, Verfahren zur Bestätigung seines Verwendungszustands und Verfahren zur Verhinderung unbefugter Verwendung

EP2688090 Art B1 8. April 2015

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Systems Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2688090
Aktenzeichen: EP13185393
Anmeldetag: 10. August 2005
Veröffentlichung: 8. April 2015
Erteilung: 8. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G06F21/71

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Systems Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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