Vorrichtung für Beobachtungen Mithilfe Optischer Kohärenztomographie, Verfahren zur Bestimmung einer Relativen Position zwischen Bildern und Programm zur Bestimmung einer Relativen Position zwischen Bildern

EP2690425 Art B1 8. August 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2690425
Aktenzeichen: EP12760540
Anmeldetag: 23. März 2012
Veröffentlichung: 8. August 2018
Erteilung: 8. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01N21/17G01N21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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