Verfahren zur Herstellung von Durchkontaktierungen
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2690655
- Aktenzeichen
- EP13176415
- Anmeldetag
- 12. Juli 2013
- Veröffentlichung
- 8. August 2018
- Erteilung
- 8. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L23/48
Abstract
The method involves forming a cavity in a via on a face (220) of a substrate, and forming an insulating layer (240) on a lateral wall and a bottom part of the cavity and on the face of the substrate. A line pattern is formed on the face of the substrate, and a trench (244) is formed in a portion of the insulating layer located on the face of the substrate, where the trench opens into the cavity. The line pattern and the cavity are filled by electrically conducting material, where the cavity is not completely filled by the material.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Stammsitz in Nizza, zusätzlich in Grenoble, Sophia Antipolis, Paris und mit Vertretung in Monaco. Zugelassen bei INPI, EPA, WIPO und dem monegassischen Patentamt, mit breiter Mandantschaft von Start-ups bis Großkonzernen.