Laservorrichtung, System zur Erzeugung von Extremem Ultraviolettlicht und Verfahren zur Erzeugung von Laserstrahlen
EP2692030
Art A1
5. Februar 2014
Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2692030
- Aktenzeichen
- EP12714363
- Anmeldetag
- 5. März 2012
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/131H01S3/13H01S3/23H05G2/00H01S3/134H01S3/107
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Gigaphoton Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
539 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei · München