Einkapselungsverfahren einer mikroelektronischen Vorrichtung
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2692689
- Aktenzeichen
- EP13178131
- Anmeldetag
- 26. Juli 2013
- Veröffentlichung
- 6. März 2019
- Erteilung
- 6. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
The method involves realizing a microelectronic device (100) on a substrate (102). Another substrate (106) is bonded to the former substrate. A cavity (104) to be hermetically sealed against air is formed. The microelectronic device is encapsulated in the cavity hermetically sealed against air, where a cap of the cavity comprises a wall (109) permeable to noble gas. The wall is formed by part of the latter substrate. The noble gas is injected into the cavity through the wall. The cavity is hermetically sealed against air and the noble gas injected into the cavity.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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