Verfahren zur Reparatur einer Maske für eine Euv-Belichtung und Maske für eine Euv-Belichtung
EP2693458
Art B1
3. Februar 2016
Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2693458
- Aktenzeichen
- EP12765886
- Anmeldetag
- 22. März 2012
- Veröffentlichung
- 3. Februar 2016
- Erteilung
- 3. Februar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F1/22G03F1/24G03F1/72G03F1/74B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Toppan Printing Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toppan Printing
Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.
1.905 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Martin, Philip John
Cambridge, Großbritannien
710
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Gwilt, Julia Louise
NoneCambridge