Polierzusammensetzung und Polierverfahren

EP2693459 Art A1 5. Februar 2014

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2693459
Aktenzeichen
EP12763096
Anmeldetag
28. März 2012
Veröffentlichung
5. Februar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321C09K3/14C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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