Polierzusammensetzung, Polierverfahren damit und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
EP2693460
Art A1
5. Februar 2014
Anmelder: Fujimi Incorporated, Fujimi Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2693460
- Aktenzeichen
- EP12764130
- Anmeldetag
- 28. März 2012
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24B37/00C09K3/14C09G1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujimi Incorporated
Fujimi Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujimi
Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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