Steuerung von Verunreinigungen in einem Wafer für eine Elektronische Schaltung
EP2695185
Art A1
12. Februar 2014
Anmelder: Isis Innovation Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2695185
- Aktenzeichen
- EP12717818
- Anmeldetag
- 4. April 2012
- Veröffentlichung
- 12. Februar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/26H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Isis Innovation Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
ISIS Innovation
ISIS Innovation war die Technologietransfer-Gesellschaft der University of Oxford (heute Oxford University Innovation), über die Erfindungen der Universität patentiert und vermarktet wurden. Das Portfolio konzentriert sich auf Medizintechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Pharma und Halbleitertechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis 2017 belegt.
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Vertreten von
Forsythe, Dominic
London, Großbritannien
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