Verfahren für Katalysatorfreies Selektives Wachstum einer Sinx-Schicht auf einer Gan-Halbleiterdrahtstruktur

EP2695194 Art B1 4. Mai 2022

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Université Grenoble Alpes 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2695194
Aktenzeichen
EP12711889
Anmeldetag
3. April 2012
Veröffentlichung
4. Mai 2022
Erteilung
4. Mai 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L33/38H01L33/24H01L33/18H01L21/336H01L29/775B82Y10/00H01L29/06H01L29/861B82Y40/00B82Y30/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Université Grenoble Alpes
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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